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非接触式优点就是测量装置探测部分不与被测表面的直接接触，保护了测量装置，同时避免了与测量装置直接接触引入的测量误差。 Zeta-20叁维光学轮廓仪集成了六种光学计量技术。 ZDot 测量模式同时采集高分辨率 3D 扫描和真彩色无限对焦图像。其他测量技术包括白光干涉法、Nomarski 干涉对比显微镜和剪切干涉法。 Zeta-20 也可用于样品审查或自动缺陷检测。

Profilm 3D是一款兼具垂直扫描干涉 (VSI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济叁维光学轮廓仪，其可以用于多种用途的高精度表面测量。 我司有此机器可测样。

从产物研发到质量控制，该系统可以用于从超光滑镜面到粗糙面的各种样品进行表面微观测量分析和粗糙度质量评价。白光干涉原理。