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Product Center紧凑型台式光刻系统重新定义无掩模光刻技术LITHO MASKLESS 是一款紧凑型台式光刻系统利用基于 UV LED 的 DLP 引擎实现无掩模图案化。设计简洁,精准它将微加工技术从洁净室和任何研究或教育空间中带出来。
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紧凑型台式光刻系统
重新定义无掩模光刻技术
LITHO MASKLESS 是一款紧凑型台式光刻系统利用基于 UV LED 的 DLP 引擎实现无掩模图案化。设计简洁,精准它将微加工技术从洁净室和任何研究或教育空间中带出来。
克服传统掩模对准机的局限性:
-传统的掩模对准器长期以来一直对半导体研究造成障碍
-设备笨重且昂贵
-操作程序复杂且僵化
-洁净室基础设施要求
-掩模制造的交付周期
-每个掩膜的成本很高 通常要几百到几千美元
可安装显微镜的模块:
可与传统品牌显微镜配合使用,无需额外占用空间。
通过笔尝础狈颁碍软件进行即时投影:
上传图片并在几秒钟内曝光。
无洁净室操作:
直接在洁净工作台内使用。
无掩模工作流程:
消除光掩模制造时间和成本。
定制图像图案:
支持笔狈骋、闯笔骋和灰度模式,实现灵活的实验设计。
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紧凑型台式光刻系统