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产物介绍
Strain Viewer 内应力检测仪具备化合物晶圆内应力分布测量及缺陷筛查等检测功能
| 品牌 | 其他品牌 |
|---|
Strain Viewer 内应力检测仪
优势
√ 基于双折射应力测量模型实现应力瞬时测量，显示应力二维分布伪彩图
√ 采用双远心检测光路，相位延迟测量精度高
√ 根据不同测量视场要求，多种镜头可选
√ 订制化样品托盘，适应不同规格晶圆批量测试
适用于叁代化合物晶圆片、玻璃晶圆片、精密光学元件（平晶，棱镜，波片，透镜等）的内应力检测
面向化合物晶圆生产、光学精密加工等行业
√ 基于偏振光应力双折射效应检测晶圆材料内部应力分布。当晶体材料由于内部缺陷存在应力集中时会导致应力双折射效应，偏振光透过它时会发生偏振态调制，通过测量透射光的斯托克斯矢量可以推算??材料的应力延迟量，从而得到材料内应力分布；
√ 可同步集成晶圆表面缺陷暗场检测和尺寸量测。
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