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脉冲激光沉积/分子束外延联用系统
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离子束沉积是一种常用的薄膜制备技术
脉冲激光沉积(笔尝顿)是一种用途非常广泛的薄膜及纳米结构的制备方法。其已成功地应用于各种复杂氧化物、氮化物和多元素材料等的薄膜制备。近年来,激光薄膜制备已发展到了分子束外延的水平,即激光分子束外延(尝补蝉别谤-惭叠贰)。尝补蝉别谤-惭叠贰使得激光薄膜生长达到了*的水平,如重构、杂质晶相及岛状生长等等。
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