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光学表面缺陷分析仪
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该如何使用高精度轮廓仪看看本篇你就知道了
叁维光学轮廓仪是测量的科技设备
晶圆探针式轮廓仪作为半导体工业中重要的测试和测量工具
Lumina AT1光学表面缺陷分析仪可对玻璃、半导体及光电子材料进行表面检测。Lumina AT1既能够检测SiC、GaN、蓝宝石和玻璃等透明材料,又能对Si、砷化镓、磷化铟等不透明基板进行检测,其价格优势使其成为适合于研发/小批量生产过程中品质管理及良率改善的有力工具。
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